產品詳情
Filmetrics F54-XY-200 自動光學膜厚測量儀
Filmetrics F54-XY-200 自動光學膜厚測量儀產品介紹:
Filmetrics F54-XY-200 自動光學膜厚測量儀借助光譜反射系統,可以測量尺寸達200 x 200mm樣品的薄膜厚度電動XY工作臺自動移動到選定的測量點并提供厚度測量,達到每秒兩點。您可以從數十種預定義的極性,矩形或線性測量坐標圖案中選擇,也可以創建自己編輯的測量點數量。此桌面系統只需幾分鐘即可完成設置,任何具有基本計算機技能的人都可以使用。
Filmetrics F54-XY-200 自動光學膜厚測量儀產品特點優勢:
自動化薄膜厚度繪圖系統,快速定位、實時獲得結果;
可測樣品膜層:基本上所有光滑的。非金屬的薄膜都可以測量;
測繪結果可用2D或3D呈現,方便用戶從不同的角度檢視;
Filmetrics F54-XY-200 自動光學膜厚測量儀測量原理:
當入射光穿透不同物質的界面時將會有部分的光被反射,由于光的波動性導致從多個界面的反射光彼此干涉,從而使反射光的多波長光譜產生震蕩的現象。從光譜的震蕩頻率,可以判斷不同界面的距離進而得到材料的厚度(越多的震蕩代表越大的厚度),同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。
Filmetrics F54-XY-200 自動光學膜厚測量儀工業應用:
半導體膜層 | 顯示技術 | 消費電子 | 派瑞林 |
光刻膠 | OLED | 防水涂層 | 電子產品/電路板 |
介電層 | ITO和TCOs | 射頻識別 | 磁性材料 |
砷化鎵 | 空氣盒厚 | 太陽能電池 | 醫學器械 |
微機電系統 | PVD和CVD | 鋁制外殼陽極膜 | 硅橡膠 |
Filmetrics F54-XY-200 自動光學膜厚測量儀參數:
波長范圍: | 190nm-1700nm | 光源: | 鎢鹵素燈、氘燈 |
測量nk值厚度要求*: | 50nm | 測量精度2: | 0.02nm |
準確度*:取較大者 | 1nm或0.2% | 穩定性3: | 0.05nm |
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